這款碳化硅單晶爐是由東莞燕園聯合北京大學東莞光電研究院共同研發：

*設備采用先進的電磁屏蔽技術；

*同時對真空、溫度等控制參數定點標定及二次校準，減小機差；

*增強碳批量化生產的工藝可復制性。

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