機臺型號：PR10L（實驗用機）
整機規(guī)格：600mm(W)×500mm(D)×400mm(H)
真空室規(guī)格：200(W)×200(H)×200(D)mm
電極規(guī)格：190 ×150×2層
電源系統(tǒng)：1KW等離子體發(fā)生源（可選13.56MHz）
控制系統(tǒng)：觸摸屏+PLC自動控制
進氣系統(tǒng)：2路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2
特 點：高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持
用 途：適用于印制線路板行業(yè)，半導體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等。
1、印制線路板行業(yè)：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污，軟板、軟硬結(jié)合板表面清潔、去鉆污，軟板補強前活化。
2、半導體IC領(lǐng)域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗
3、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化